光譜共焦位移傳感器利用波長信息測(cè)量距離的。由光源射出一束寬光譜的復(fù)色光(呈白色),通過色散鏡頭發(fā)生光譜色散,形成不同波長的單色光。

　　

　　光譜共焦傳感器注意：

　　

　　1）被測(cè)物反光特性。光譜共焦傳感器是同軸測(cè)量，對(duì)白光光譜分解后，不同的位置會(huì)對(duì)應(yīng)不同的光譜成分。所以反光特性對(duì)測(cè)量影響特別大?？梢酝ㄟ^調(diào)節(jié)曝光時(shí)間和測(cè)量頻率來進(jìn)行調(diào)節(jié)。

　　

　　2）精度的選擇。光譜共焦傳感器有個(gè)特點(diǎn)，精度跟量程有關(guān)系。在可能的情況下，選擇小的量程會(huì)帶來更高的測(cè)量精度。但是也意味著更高的安裝難度。

　　

　　光譜共焦傳感器可以完成以下方面的工作：

　　

　　1.粗糙度測(cè)量：

　　

　　光譜共焦傳感器可測(cè)量zui小幾個(gè)納米的粗糙度。獲取粗糙度文件速度比普通的探針式快很多，而且不會(huì)對(duì)表面造成劃痕的風(fēng)險(xiǎn)。

　　

　　2.輪廓&微觀形貌：

　　

　　光譜共焦傳感器的3D掃描的接口，能夠滿足所有復(fù)雜對(duì)象的2D和3D測(cè)量。精度可達(dá)亞微米級(jí)。

　　

　　3.厚度測(cè)量：

　　

　　非常先進(jìn)的光譜共焦成像原理，通過使用一個(gè)單一的傳感器就能測(cè)量透明材料的厚度，而且具有*的精度?？梢詮臉悠返囊幻嬷苯訙y(cè)量。

　　

　　4.水平面控制：

　　

　　由于其非接觸技術(shù)，我們的傳感器可以檢測(cè)和測(cè)量液體的水平面。

　　

　　5.振動(dòng)：

　　

　　由于非常高的測(cè)量頻率和納米分辨率，光譜共焦傳感器能夠測(cè)量振動(dòng)對(duì)象。他們的非接觸式設(shè)計(jì)避免了在測(cè)試時(shí)的干擾，并能測(cè)量和分析難以訪問的區(qū)域。

　　

　　6.生產(chǎn)線檢測(cè)：

　　

　　光譜共焦傳感器能夠用應(yīng)用于生產(chǎn)線系統(tǒng)控制，是由于其非常高的測(cè)量速率和先進(jìn)的接口與制造能力。